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  行业资讯     |      2024-08-11 22:52

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  PECVD是制备薄膜光伏电池中非晶硅吸收层的关键工艺,而PECVD真空腔体则是PECVD工艺所需重要设备载体之一。真空腔体是指保证内部为真空状态的容器设备,当前在技术工艺要求不断升级背景下,多数先进工艺均需在真空或惰性气体保护条件下完成,因此,真空腔体应运而生,成为保证多种工艺顺利实施的关键设备